[发明专利]圆筒型溅射靶及其制造方法在审
| 申请号： | 201710112294.0 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN107236934A | 公开（公告）日： | 2017-10-10 |
| 发明（设计）人： | 馆野谕;长田幸三 | 申请（专利权）人： | JX金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)11363 | 代理人： | 郭放,许伟群 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供圆筒轴方向的长度为470mm以上的圆筒型烧结体、圆筒型溅射靶及它们的制造方法。本发明的一个实施方式的圆筒型溅射靶的制造方法为在具有圆筒型烧结体的圆筒型溅射靶的制造方法中，将圆筒轴方向的长度为600mm以上的圆筒型成形体配置于设置有与用于供氧的配管相连接的供氧口的台座上，在从比在圆筒型成形体的圆筒内侧设置的圆筒内周长小的供氧口向圆筒轴方向供氧的同时进行烧结。另外，在另一方式中，也可以将台座配置于腔室中，用于供氧的配管从腔室之外连接到供氧口。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒 溅射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种圆筒型烧结体的制造方法，其特征在于，将圆筒轴方向的长度为600mm以上的圆筒型成形体配置于设置有与用于供氧的配管相连接的供氧口的台座上，在从比在所述圆筒型成形体的圆筒内侧设置的圆筒内周长小的供氧口向所述圆筒轴方向供氧的同时进行烧结。
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