[发明专利]表面声波(SAW)谐振器有效
| 申请号： | 201710104039.1 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN107134988B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 理查德·C·鲁比;斯蒂芬·罗伊·吉尔伯特;约翰·D·拉森三世 | 申请（专利权）人： | 安华高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及表面声波saw谐振器。一种设备包含：硅Si衬底，其具有第一表面及第二表面，所述硅衬底在室温下具有大于约1000Ω‑cm且小于约15000Ω‑cm的电阻率；及压电层，其安置在所述衬底上方且具有第一表面及第二表面。所述压电层可具有在约0.5μm到约30.0μm的范围内的厚度且基本上不含铁Fe。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 声波 saw 谐振器 | ||
【主权项】：
一种设备，其包括：硅Si衬底，其具有第一表面及第二表面，所述硅衬底在室温下具有大于约1000Ω‑cm且小于约15000Ω‑cm的电阻率；及压电层，其安置在所述衬底上方且具有第一表面及第二表面。
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