[发明专利]真空泵

摘要

提供适于提高转子破损对策的可靠性的真空泵。真空泵的排气机构部为了在转子的外周侧形成螺纹槽排气流路，作为安装于封装壳(1(1A、1B))内周侧的固定部件具有螺纹槽排气部定子(9)，在螺纹槽排气部定子(9)的外周侧，安装有由比强度比该螺纹槽排气部定子(9)的材质高的材质形成的高强度部件(10)，为了抑制因气体中的腐蚀成分引起的高强度部件(10)的腐蚀，在该高强度部件(10)的周围设置防腐蚀构造(St1)。

主权项

一种真空泵，其特征在于具备：转子，其配置在封装壳内；支撑单元，支撑所述转子使其能够旋转；驱动单元，其旋转驱动所述转子；以及排气机构部，其将通过所述转子的旋转而吸气的气体排气，所述排气机构部为了在所述转子的外周侧形成螺纹槽排气流路，具有安装在所述封装壳的内周侧的固定部件，在所述固定部件的外周侧，安装有由比强度比该固定部件的材质高的材质形成的高强度部件，为了抑制因所述气体中的腐蚀成分引起的所述高强度部件的腐蚀，在该高强度部件周围设有防腐蚀构造。