[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于具备：

转子，其配置在封装壳内；

支撑单元，支撑所述转子使其能够旋转；

驱动单元，其旋转驱动所述转子；以及

排气机构部，其将通过所述转子的旋转而吸气的气体排气，

所述排气机构部为了在所述转子的外周侧形成螺纹槽排气流路，具有安装在所述封装壳的内周侧的固定部件，

在所述固定部件的外周侧，安装有由比强度比该固定部件的材质高的材质形成的高强度部件，

为了抑制因所述气体中的腐蚀成分引起的所述高强度部件的腐蚀，在该高强度部件周围设有防腐蚀构造。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

作为所述防腐蚀构造，在所述高强度部件的周围设置有减少或防止所述气体的流入的密封部件。

3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

作为所述防腐蚀构造，设有对所述高强度部件的周围供给非活性气体等腐蚀对策气体的腐蚀对策气体供给单元。

4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

作为所述防腐蚀构造，对所述高强度部件的外表面进行了耐腐蚀性表面处理。

5.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

作为所述防腐蚀构造，在所述高强度部件的周围填充有树脂等模制材料。

6.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

作为所述防腐蚀构造，以成为所述高强度部件埋入在所述固定部件中的形态的方式构成。

7.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

作为所述防腐蚀构造，在所述固定部件设置容纳所述高强度部件的容纳空间，并将所述高强度部件设置于该容纳空间。

8.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

作为所述防腐蚀构造，在所述高强度部件的周围设置有包围所述高强度部件的壳。

9.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

作为所述防腐蚀构造，在所述固定部件或所述封装壳的至少一部分设有嵌合构造。

10.根据权利要求9所述的真空泵，其特征在于：

所述防腐蚀构造通过热压配合、冷压配合、或压入中的任一种构成所述嵌合构造。

11.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述固定部件和所述封装壳还在所述固定部件和所述封装壳的安装部设有冲击力•转矩降低构造，所述冲击力•转矩降低构造降低在所述转子破坏时传递至所述封装壳的破坏的冲击力和转矩。

12.根据权利要求11所述的真空泵，其特征在于：

所述安装部为通过连结凸缘连结所述固定部件和所述封装壳的构造，

所述冲击力•转矩降低构造为所述连结凸缘以所述连结凸缘的塑性应变比所述固定部件和所述封装壳中的至少任一者的塑性应变大的方式塑性变形的凸缘塑性变形构造。

13.根据权利要求12所述的真空泵，其特征在于：

在所述凸缘塑性变形构造中，所述连结凸缘的至少一部分的厚度比所述固定部件和所述封装壳中的至少任一者的厚度薄。

14.根据权利要求12所述的真空泵，其特征在于：

所述凸缘塑性变形构造在所述连结凸缘形成有槽、颈缩、或切口中的至少任一种。

15.根据权利要求12所述的真空泵，其特征在于：

所述连结凸缘与所述固定部件和所述封装壳中的至少任一者一体地形成。

16.根据权利要求11所述的真空泵，其特征在于：

所述冲击力•转矩降低构造具备所述高强度部件的上端位于所述转子的形成所述螺纹槽排气流路的部分的最上端更上方的构造、或者所述高强度部件的下端位于所述转子的形成所述螺纹槽排气流路的部分的最下端更下方的构造，或者具备这两种构造。

17.根据权利要求11所述的真空泵，其特征在于：

所述冲击力•转矩降低构造是将所述高强度部件的端部插入相对于所述固定部件固定地形成的保持槽以保持所述高强度部件的构造。

18.根据权利要求17所述的真空泵，其特征在于：

在所述保持槽的内周侧的壁与所述高强度部件之间设有空隙部。