[发明专利]真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置的过程腔、其他腔的气体排气手段利用的真空泵，特别适于提高转子破损对策的可靠性。

背景技术

作为此种真空泵，例如已知专利文献1中公开的真空泵(涡轮分子泵100)。

该文献1的真空泵(涡轮分子泵100)具备配置在封装壳(基部50及壳体52)内的转子(转子4)、支撑该转子使其能够旋转的支撑单元(上部径向电磁石64、下部径向电磁石64及推力电磁石66等)、旋转驱动该转子的驱动单元(马达40)、以及将通过该转子的旋转而吸气的气体排气的排气机构部。

该文献1的真空泵(涡轮分子泵100)的所述排气机构部由翼排气部(转子翼20、定子翼44等)和螺纹槽排气部构成，螺纹槽排气部作为在转子(转子4)的外周侧形成螺纹槽排气流路的单元具有在封装壳(基部50及壳体52)的内周侧安装的固定部件(螺纹定子11)。

另外，在该文献1的真空泵(涡轮分子泵100)中，作为转子破损对策的一环，采用在固定部件(螺纹定子11)的外周侧安装高强度部件(高强度部件12)的构成。

但是，根据该文献1的真空泵(涡轮分子泵100)，由于高强度部件(高强度部件12)处于暴露于真空泵内部的气体气氛的环境，故存在高强度部件(高强度部件12)因该气体气氛中的腐蚀成分，例如氯系气体成分而腐蚀的风险，由于因腐蚀导致的高强度部件(高强度部件12)的强度降低，高强度部件(高强度部件12)不能够充分地发挥本来的功能，不得不说作为转子破损对策的可靠性低。

另外，在该文献1的真空泵(涡轮分子泵100)中，是虽然通过凸缘(安装凸缘11a)将固定部件(螺纹定子11)安装于封装壳(基部50及壳体52)的内周侧，但该凸缘与封装壳接触的构造。因此，在存在通过由高强度部件受到的因转子的破坏导致的冲击力、转矩经由凸缘传递到封装壳而产生使封装壳变形的力、使真空泵整体旋转移动的力的风险、因此种真空泵整体的旋转移动导致的腔的破损等，使安装有真空泵的各种装置破损的风险的点方面，也不得不说作为转子破损对策的可靠性低。总之，在该文献1的真空泵(涡轮分子泵100)中，降低在转子破坏时传递至封装壳的破坏的冲击力和转矩的对策是不充分的。

此外，以上说明中的括弧内的部件名称和符号是在专利文献1中使用的。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：2015-127525号公报。

发明内容

发明要解决的课题

本发明是鉴于前述问题而完成的，其目的在于提供对提高转子破损对策的可靠性而言适合的真空泵。

用于解决问题的方案

为了实现所述目的，本发明的特征在于具备：转子，其配置在封装壳内；支撑单元，其支撑所述转子使其能够旋转；驱动单元，其旋转驱动所述转子；以及排气机构部，其将通过所述转子的旋转而吸气的气体排气，所述排气机构部为了在所述转子的外周侧形成螺纹槽排气流路，具有安装在所述封装壳的内周侧的固定部件，在所述固定部件的外周侧，安装有由比强度比该固定部件的材质高的材质形成的高强度部件，为了抑制因所述气体中的腐蚀成分引起的所述高强度部件的腐蚀，在该高强度部件周围设有防腐蚀构造。

在所述本发明中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述高强度部件的周围设置有减少或防止所述气体的流入的密封部件。

在所述本发明中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，设有对所述高强度部件的周围供给非活性气体等腐蚀对策气体的腐蚀对策气体供给单元。

在所述本发明中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，对所述高强度部件的外表面进行了耐腐蚀性表面处理。

在所述本发明中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述高强度部件的周围填充有树脂等模制材料。

在所述本发明中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，以成为所述高强度部件埋入在所述固定部件中的形态的方式构成。

在所述本发明中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述固定部件设置容纳所述高强度部件的容纳空间，并将所述高强度部件设置于该容纳空间。

在所述本发明中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述高强度部件的周围设置有包围所述高强度部件的壳。

在所述本发明中，还可以特征在于：作为所述防腐蚀构造，在所述固定部件或所述封装壳的至少一部分设有嵌合构造。

在所述本发明中，还可以特征在于：所述防腐蚀构造通过热压配合、冷压配合、或压入中的任一种构成所述嵌合构造。