[发明专利]传感器结构矩阵、加速度传感器以及传感器单元有效
| 申请号： | 201710099644.4 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN107102170B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 维勒-佩卡·吕特克宁;列夫·罗舍尔;安斯·布卢姆奎斯特 | 申请（专利权）人： | 村田电子有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 卫李贤;曹正建 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器结构矩阵、加速度传感器以及传感器单元。其中，传感器结构矩阵包括具有平面结构的传感器单元，其中所述传感器单元被设置在共同的平面中，以检测所述共同的平面中的加速度分量，一对传感器单元被设置为在平面中第一方向上进行检测；一对传感器单元被设置为在平面中第二方向上进行检测，其中，所述平面中第二方向垂直于所述第一方向；以及上述的传感器单元对被定位为在所述传感器结构矩阵的所述共同的平面中提供补偿对称性。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 结构 矩阵 加速度 以及 单元 | ||
【主权项】：
1.一种传感器结构矩阵，其包括具有平面结构的四个传感器单元，其中，每个所述传感器单元包括在共同的平面中的电容性检测梳和框架，所述框架围绕所述检测梳而延伸，所述检测梳的动电极被耦合以与所述框架一起移动，所述传感器单元设置在所述共同的平面中以检测所述共同的平面中的加速度分量，第一对传感器单元被设置为在平面中第一方向上进行检测；第二对传感器单元被设置为在平面中第二方向上进行检测，其中，所述平面中第二方向垂直于所述第一方向；以及所述第一对传感器单元和所述第二对传感器单元被定位为在所述传感器结构矩阵的所述共同的平面中提供补偿对称性。
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