[发明专利]一种含硅咪唑啉缓蚀剂的制备方法有效
| 申请号： | 201710096014.1 | 申请日： | 2017-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN106801228B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 冯青;刘金顺;黄瑞光 | 申请（专利权）人： | 济南惠信实业有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/18 | 分类号： | C23F11/18;C23C18/12;C08G77/38;C08G77/388 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 李桂存 |
| 地址： | 250200*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种含硅咪唑啉缓蚀剂制备方法，以环氧封端的硅油和咪唑为原料，苯类做溶剂制备出含硅咪唑啉，然后利用环氧加成产生的羟基，在催化剂氢氧化钾催化下，同环氧乙烷开环聚合形成水溶性含硅缓蚀剂。本发明方法简单易行，对缓蚀剂结构进行了改进，避免了容易水解的酰胺结构，引入耐高温有机硅功能团，提高了缓蚀剂使用温度范围，加入多个乙基氧基团增加缓蚀剂水溶性，制备出的产品缓释效果明显提高，适合工业化应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 咪唑 啉缓蚀剂 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种含硅咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）苯类溶剂中加入咪唑类化合物，升温至80～100℃，搅拌同时滴加环氧封端有机硅油，滴加时间1h，滴加完成后于70～80℃保温4～6h，减压蒸馏蒸馏出苯类溶剂，制得含硅咪唑啉；2）向步骤1）的含硅咪唑啉中加入碱催化剂，然后在负压下搅拌，加入环氧乙烷，控制环氧乙烷的加入速度使体系的反应温度保持在120～130℃，反应压力≤0.25MPa，反应4～6h，制得含硅咪唑啉乙氧基加成物；3）向步骤2）制得的含硅咪唑啉乙氧基加成物中，加入醇溶剂，常温搅拌1～2h，得含硅咪唑啉缓蚀剂。
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