[发明专利]一种含硅咪唑啉缓蚀剂的制备方法

权利要求书

1.一种含硅咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）苯类溶剂中加入咪唑类化合物，升温至80～100℃，搅拌同时滴加环氧封端有机硅油，滴加时间1h，滴加完成后于70～80℃保温4～6h，减压蒸馏蒸馏出苯类溶剂，制得含硅咪唑啉；

2）向步骤1）的含硅咪唑啉中加入碱催化剂，然后在负压下搅拌，加入环氧乙烷，控制环氧乙烷的加入速度使体系的反应温度保持在120～130℃，反应压力≤0.25MPa，反应4～6h，制得含硅咪唑啉乙氧基加成物；

3）向步骤2）制得的含硅咪唑啉乙氧基加成物中，加入醇溶剂，常温搅拌1～2h，得含硅咪唑啉缓蚀剂。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤1）中，所述咪唑类化合物为羟基咪唑、苯并咪唑或羟基苯并咪唑。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤1）中，所述环氧封端有机硅油分子量范围800～1000，为环氧封端二甲基硅油或环氧封端苯甲基硅油。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤1）中，所述苯类溶剂为甲苯、二甲苯或三甲苯。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤1）中，所述咪唑类化合物与环氧封端有机硅油、苯类溶剂的质量比为10～30：40～50：35～55。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤2）中，所述碱催化剂为氢氧化钾或氢氧化钠。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤2）中，所述含硅咪唑啉与碱催化剂、环氧乙烷的质量比为50～70：0.1～0.3：10～20。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤3）中，所述醇溶剂为甲醇、乙醇或丙醇。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤3）中，所述含硅咪唑啉乙氧基加成物与醇溶剂的质量比为20～30：70～80。

10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述含硅咪唑啉缓蚀剂中，活性成分结构如下式所示：

式中：n为10～20；m1+m2为2～10。