[发明专利]全息观测透射电镜试样的制备方法有效
| 申请号： | 201710082405.8 | 申请日： | 2017-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN106908290B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 杜海峰;金驰名;田明亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 任岗生 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全息观测透射电镜试样的制备方法。它先于待测样品的表面溅射100‑500nm厚的由粒径10‑50nm的金属颗粒组成的金属弱吸附层，或涂敷100‑500nm厚的有机胶弱吸附层，再于金属弱吸附层或有机胶弱吸附层的表面沉积500nm‑4μm厚的含有机物的保护层，之后，先使用聚焦离子束将观察区域的待测样品切割成30‑150nm厚的透射薄片，再将透射薄片的两端切割至待测样品处，得到透射电镜样品，最后，先使用聚焦离子束清理透射电镜样品表面的非晶层，再将其顶端的金属弱吸附层或有机胶弱吸附层连同含有机物的保护层剥离，制得目的产物。它可用作电子全息探测的TEM样品，广泛地用于获取样品的电场分布和磁场分布的本征电子全息信息。 | ||
| 搜索关键词： | 全息 观测 透射 试样 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种全息观测透射电镜试样的制备方法，包括于待测样品的观察区域沉积含有机物的保护层，以及使用聚焦离子束将观察区域的待测样品切割成透射电镜样品，其特征在于完成步骤如下：步骤1，先于待测样品的表面使用离子溅射法溅射100‑500nm厚的由粒径10‑50nm的金属颗粒组成的金属弱吸附层，或使用旋涂法涂敷100‑500nm厚的有机胶弱吸附层，再于金属弱吸附层或有机胶弱吸附层的表面沉积500nm‑4μm厚的含有机物的保护层，得到其上的观察区域依次覆有金属弱吸附层或有机胶弱吸附层和含有机物的保护层的待测样品；步骤2，先使用聚焦离子束将观察区域的待测样品切割成30‑150nm厚的透射薄片，再将透射薄片的两端切割至待测样品处，得到其顶端依次覆有金属弱吸附层或有机胶弱吸附层和含有机物的保护层的透射电镜样品；将待测样品切割成透射薄片的过程为，先垂直于待测样品的表面连同其上覆有的金属弱吸附层或有机胶弱吸附层和含有机物的保护层截面成1μm厚的薄片，再将薄片减薄至30‑150nm；切割至待测样品处为，将透射薄片两端顶部覆有的金属弱吸附层或有机胶弱吸附层和含有机物的保护层切断；步骤3，先使用聚焦离子束清理透射电镜样品表面的非晶层，再将透射电镜样品顶端的金属弱吸附层或有机胶弱吸附层连同含有机物的保护层剥离，制得全息观测透射电镜试样。
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