[发明专利]多功能传感器有效
| 申请号： | 201710076348.2 | 申请日： | 2017-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN108426602B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 蔡明志;何羽轩 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多功能传感器，包括：衬底、第一传感结构、介电层以及第二传感结构。第一传感结构配置在衬底上。介电层配置在第一传感结构上。第二传感结构配置在介电层上。第一传感结构与第二传感结构位于衬底的同一侧。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种多功能传感器，包括：衬底；第一传感结构，配置在所述衬底上；介电层，配置在所述第一传感结构上；以及第二传感结构，配置在所述介电层上，其中所述第一传感结构与所述第二传感结构位于所述衬底的同一侧。
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