[发明专利]多功能传感器

权利要求书

1.一种多功能传感器，包括：

衬底；

第一传感结构，配置在所述衬底上；

介电层，配置在所述第一传感结构上；以及

第二传感结构，配置在所述介电层上，其中所述第二传感结构包括：

第二电极，配置在所述介电层上；以及

传感层，配置在所述第二电极上，

其中所述第一传感结构与所述第二传感结构位于所述衬底的同一侧，

其中所述第一传感结构、所述介电层以及所述第二传感结构的形成方法包括三维打印。

2.根据权利要求1所述的多功能传感器，其中所述第一传感结构包括具有电阻值变化传感构形的第一电极。

3.根据权利要求1所述的多功能传感器，还包括加热板，位于所述第二电极的间隙之中。

4.根据权利要求1所述的多功能传感器，还包括光源，配置在所述传感层上或所述传感层的周边。

5.根据权利要求2所述的多功能传感器，其中所述第一电极包括蛇状电极。

6.根据权利要求1所述的多功能传感器，其中所述衬底的材料包括多孔材料，且所述第一传感结构的一部分延伸入所述衬底的孔洞中。

7.根据权利要求1所述的多功能传感器，其中所述传感层的材料包括硅、纳米碳管、石墨烯、氧化石墨烯、氧化锌、二氧化锡、氧化铟、三氧化钨、氧化镁、二氧化钛、三氧化二铁、镍、铜、金金属团簇或其组合。

8.根据权利要求1所述的多功能传感器，其中所述衬底的材料包括纳米纤维素材料。

9.根据权利要求1所述的多功能传感器，其中所述第一传感结构包括：

第一电极，配置在所述衬底上；以及

第一电极传感层，配置在所述第一电极上。