[发明专利]一种银引入氮化铪膜高红外反射耐久材料有效
| 申请号： | 201710071240.4 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN106646703B | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 胡超权;刘健;郑伟涛 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 陈波;郑志强 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种新型银引入氮化铪膜高红外反射耐久材料，涉及红外反射膜材料领域，该材料是由HfN和Ag组成的HfN‑Agx膜，该HfN‑Agx膜具有HfN包含Ag的固溶体结构，Ag的含量为0.8‑3.8at.％，其制备方法为：选取硅片或玻璃基底作为衬底，将纯Hf靶和Ag靶放入磁控溅射室，抽真空，设置磁控溅射参数，通入N2气和Ar气，在基底上沉积HfN‑Agx膜；该材料不但具有良好的红外反射性，还具有优异的耐久性，有望在高速固液粒子撞击、高温以及腐蚀液体气体存在的严苛环境下作为高红外反射耐久膜使用，也可应用在光学反射器件表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 引入 氮化 铪膜高 红外 反射 耐久 材料 | ||
【主权项】：
1.一种银引入氮化铪膜高红外反射耐久材料，其特征在于，该材料是由HfN和Ag组成的HfN‑Agx膜，所述HfN‑Agx膜具有HfN包含Ag的固溶体结构，所述HfN‑Agx膜中Ag的含量为0.8‑3.8at.％。
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