[发明专利]基板搬送装置、基板搬送方法和存储介质

摘要

本发明提供一种基板搬送装置，当搬送在周边部设置有切口的圆形的基板时，即使检测该基板周边部的位置的传感器部的数量少，也能高精度地将基板搬送至组件。本发明执行以下步骤：使保持有从第一组件接受到的基板的基板保持部相对上述传感器部分别位于预先设定的第一位置、第二位置，检测基板的周边部的各位置的第一和第二步骤；判别光源部的光照射区域位于基板的切口的异常状态的种类的第三步骤；和根据第三步骤的判别，基于在第一位置或第二位置检测出的周边部的各位置决定基板保持部相对第二组件的交接位置，或在第三位置重新检测基板周边部的各位置，基于该各位置决定交接位置。

主权项

一种基板搬送装置，其具有在横方向上能够自由移动的基板保持部，用于从第一组件向第二组件搬送圆形的基板，该基板搬送装置的特征在于，包括：传感器部，其为了检测由所述基板保持部保持的基板的周边部的至少4个位置，具有至少4个由对所述周边部的相互不同的位置照射光的光源部和与各所述光源部成对的受光部构成的传感器对；用于使所述基板保持部相对所述传感器部相对地移动的驱动部；和为了控制所述基板保持部、驱动部和传感器部的各动作而输出控制信号的控制部，所述控制部输出控制信号以执行以下步骤：判断步骤，基于所述各传感器对的受光部的检测结果，对于每个传感器对，判断该传感器对能否使用；检测步骤，使保持有从所述第一组件接受到的基板的基板保持部，相对所述各传感器对，位于预先设定的设定位置，检测所述基板的周边部的各位置；和决定步骤，在所述判断步骤中判断为能够使用的传感器对为4个以上时，基于由至少4个能够使用的传感器对在所述检测步骤中检测出的各周边部的位置，决定基板保持部对所述第二模块的交接位置，在所述判断步骤中判断为能够使用的传感器对为3个时，基于由该3个传感器对在所述检测步骤中检测出的各周边部的位置，决定基板保持部对所述第二模块的交接位置。