[发明专利]气体供应装置及方法有效
| 申请号： | 201710063581.7 | 申请日： | 2017-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN108385071B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 李乾铭;陈俊吉;林世杰 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C16/455;H01L43/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种气体供应装置，包含一气体供应头、一第一盘体、一第二盘体以及一旋转致动器。第一盘体具有至少一开口。第一盘体的开口与第二盘体在气体供应头上的投影是重叠的。第二盘体包含多个扇形区域。该些扇形区域是沿着该第二盘体的角向方向排列的，该些扇形区域内的气孔分布不同。旋转致动器用以驱动第一盘体、第二盘体或其组合，使得第一盘体与第二盘体在角向方向上相对旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供应 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种气体供应装置，其特征在于，包含：一气体供应头；一第一盘体，具有至少一开口；一第二盘体，该第一盘体的该开口与该第二盘体在该气体供应头上的投影是重叠的，该第二盘体包含多个扇形区域，该些扇形区域是沿着该第二盘体的角向方向排列的，该些扇形区域内的气孔分布不同；以及一旋转致动器，用以驱动该第一盘体、该第二盘体或其组合，使得该第一盘体与该第二盘体在该角向方向上相对旋转。
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