[发明专利]质量分析电磁铁及离子注入装置有效
| 申请号： | 201710059911.5 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN108346551B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 内藤胜男 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/065 | 分类号： | H01J37/065;H01J37/317 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 崔炳哲;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 质量分析电磁铁具备一对主线圈和多个副线圈，主线圈具备与离子束的行进方向平行的第1平行部及相对于第1平行部弯折的第1弯折部，一对主线圈相对于离子束的行进方向而上下对称配置，离子束在主线圈以及副线圈形成的磁场下沿着离子束的行进方向，通过由第1平行部以及第1弯折部形成的空间，多个副线圈具有与离子束的行进方向平行的第2平行部以及相对于第2平行部弯折的第2弯折部，且与主线圈的第1平行部以及第1弯折部紧密相接地匹配，相对于离子束的行进方向而上下对称配置，通过主线圈产生质量分析所需磁场，通过调整副线圈中的电流朝向及大小对主线圈产生的磁场进行微调整。可对磁场控制进行微调整且易于修正离子束形状。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 分析 电磁铁 离子 注入 装置 | ||
【主权项】：
1.一种质量分析电磁铁，其用于除去离子源所引出的离子束中所含的不要的离子，其特征在于，具有电流流动时产生磁场的一对主线圈以及电流流动时产生磁场的多个副线圈，上述主线圈具有与离子束的行进方向平行的第1平行部、和在该第1平行部的两侧相对于上述第1平行部弯折的第1弯折部，上述一对主线圈相对于离子束的行进方向而上下对称地配置，上述离子束在上述主线圈以及上述副线圈所形成的磁场下，沿着离子束的行进方向，通过由上述一对主线圈的上述第1平行部以及上述第1弯折部形成的空间，上述多个副线圈具有与离子束的行进方向平行的第2平行部以及相对于上述第2平行部弯折的第2弯折部，且与上述主线圈的上述第1平行部以及第1上述弯折部紧密相接地匹配，相对于离子束的行进方向而上下对称地配置，通过上述主线圈产生质量分析所需的磁场，通过调整上述副线圈中流动的电流朝向以及电流大小对上述主线圈所产生的磁场进行微调整。
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