[发明专利]晶片检查

摘要

本发明涉及晶片检查。本发明揭示一种经配置以检查晶片的系统，该系统包括照明子系统，其经配置以使由所述照明子系统将多个脉冲光束中的第一者引导到晶片上的区域在时间上早于将所述多个脉冲光束中的第二者引导到所述区域；扫描子系统，其经配置以使所述多个脉冲光束跨所述晶片进行扫描；集光子系统，其经配置以使从所述晶片上的所述区域散射的光成像到一个或多个传感器；计算机子系统，其经配置以使用所述一个或多个传感器的所述输出来检测所述晶片上的缺陷。本发明中的系统可优化检查速度及/或灵敏性。

主权项

一种经配置以检查晶片的系统，其包括：照明子系统，其经配置以使由所述照明子系统将多个脉冲光束中的第一者引导到晶片上的区域在时间上早于将所述多个脉冲光束中的第二者引导到所述区域，其中所述多个脉冲光束中的所述第一者及第二者在所述晶片上具有彼此不同的形状及大小，且其中所述多个脉冲光束中的所述第一者及第二者具有彼此不同的波长、彼此不同的偏振或彼此不同的波长及偏振；扫描子系统，其经配置以使所述多个脉冲光束跨所述晶片进行扫描；集光子系统，其经配置以使从所述晶片上的所述区域散射的光成像到一个或多个传感器，其中所述一个或多个传感器响应于所述散射光而产生输出；及计算机子系统，其经配置以使用所述一个或多个传感器的所述输出来检测所述晶片上的缺陷，且使用响应于归因于所述多个脉冲光束中的所述第一者的照明而来自所述区域的所述散射光的输出来确定应被引导到所述区域的所述多个脉冲光束中的所述第二者的功率。