[发明专利]一种石墨烯复合薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201710048251.0 | 申请日： | 2017-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN106807606A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 杨连乔;陈章福;徐小雪;舒文灏;张建华;殷录桥;吴行阳;李起鸣;特洛伊·乔纳森·贝克 | 申请（专利权）人： | 上海大学;镓特半导体科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B05D5/00 | 分类号： | B05D5/00;B05D7/14;B05D7/24;B05D3/04;C23C16/26;C23C16/505;C23C16/511 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所11569 | 代理人： | 王加贵 |
| 地址： | 200436*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石墨烯复合薄膜，所述石墨烯复合薄膜包含导热基层和设置在所述导热基层上的石墨烯层；所述导热基层的材质为碳纳米管、氮化硼纳米管和银纳米线中的一种或几种。由于纳米材料和石墨烯材料优异的导热性能，所述石墨烯复合薄膜在用于二极管部件时，石墨烯层与芯片接触，导热基层与金属基体接触，能够大大提高电子器件的散热性能。本发明还提供了一种石墨烯复合薄膜的制备方法，本申请提供的制备方法能够直接的在金属基底上沉积石墨烯复合薄膜，避免了现有技术中制备石墨烯薄膜后需要进行二次转移对石墨烯结构带来的破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种石墨烯复合薄膜的制备方法，包含如下步骤：在金属基体表面涂覆纳米溶液，所述纳米溶液为碳纳米管溶液、氮化硼纳米管溶液和银纳米线溶液中的一种或几种；在惰性气氛下，去除所述纳米溶液中的溶剂，得到涂覆有导热基层的复合金属基体；在氢气和惰性气体的混合气氛下，以有机气相碳源为原料，在所述复合金属基体表面化学气相沉积石墨烯层，得到在金属基体表面生成的石墨烯复合薄膜。
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