[发明专利]一种石墨烯复合薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种石墨烯复合薄膜的制备方法，包含如下步骤：

在金属基体表面涂覆纳米溶液，所述纳米溶液为碳纳米管溶液、氮化硼纳米管溶液和银纳米线溶液中的一种或几种；

在惰性气氛下，去除所述纳米溶液中的溶剂，得到涂覆有导热基层的复合金属基体；

在氢气和惰性气体的混合气氛下，以有机气相碳源为原料，在所述复合金属基体表面化学气相沉积石墨烯层，得到在金属基体表面生成的石墨烯复合薄膜。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述纳米溶液的浓度为0.1～5mg/mL。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，通过加热的方式去除所述纳米溶液中的溶剂，所述加热的温度为75～100℃；

所述加热的时间为5～15分钟。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氢气在混合气氛中的体积含量为10～30％；

所述氢气和惰性气体的总流量为90～110sccm。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述有机气相碳源为气相烷烃、气相烯烃和气相炔烃中的一种或几种；

所述有机气相碳源的流量为10～100sccm。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述化学气相沉积的温度为800～1000℃；

所述化学气相沉积的时间为10～30分钟。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述化学气相沉积过程中，包含氢气、惰性气体和有机气相碳源的混合气体的气体压强为500～650Pa。

8.根据权利要求4～7任意一项所述的制备方法，其特征在于，所述化学气相沉积为等离子增强化学气相沉积法，射频功率为350～450W。

9.根据权利要求4～7任意一项所述的制备方法，其特征在于，所述化学气相沉积为微波辅助化学气相沉积法，微波功率为750～850W，频率为2～3GHz。

10.权利要求1～9任意一项所述制备方法得到的石墨烯复合薄膜，包含导热基层和石墨烯层；所述导热基层的材质为碳纳米管、氮化硼纳米管和银纳米线中的一种或几种，所述导热基层中的纳米材料全部或者部分嵌入石墨烯层；所述导热基层的厚度为1～100nm；所述石墨烯层的厚度为0.2～0.5nm。