[发明专利]阈值可调MEMS惯性开关的测试系统

摘要

阈值可调MEMS惯性开关的测试系统，包括信号的输入系统，包括冲击滑块、冲击杆和缓冲装置。冲击杆提供单调递增的速度，实现动能转化为缓冲装置中空气弹簧的弹性势能。缓冲装置提供先单调递增后单调递减的加速度信号输入。信号的输出系统，包括测试电路、检流计和示波器。测试电路包括MEMS惯性开关。测试电路是利用惯性开关的自锁功能，实现信号的输出。检流计和示波器是为了测量测试电路的输出信号。弥补了国内对MEMS惯性开关测试系统的空缺。

主权项

阈值可调MEMS惯性开关的测试系统：包括测试电路和冲击系统；其特征在于：测试电路包括MEMS惯性开关（17）；MEMS惯性开关（17），包括可动电极（1）、驱动电极（2）、介质层（8）、第一下接触电极（3）、第二下接触电极（4）、上接触电极（5）和基板（6）；可动电极（1）通过弹性支撑部支撑在基板（6）上方；可动电极（1）右侧通过至少一个连接梁（9）连接上连接部（24）；梁（7）、可动电极（1）、连接梁（9）和上连接部（24）的下表面设有介质层（8）；驱动电极（2）固定设置在基板（6）上表面，位于可动电极（1）的下方；第一下接触电极（3）和第二下接触电极（4）固定设置在基板（6）上表面，位于上接触电极（5）下方；可动电极（1）、驱动电极（2）、第一下接触电极（3）和第二下接触电极（4）引出四个引脚，分别为可动电极引脚、驱动电极引脚、第一下接触电极引脚和第二下接触电极引脚；第一下接触电极引脚连接第一直流电源（21）一端，第二下接触电极引脚通过电阻Ra连接第一直流电源（21）另一端；第一下接触电极引脚和第二下接触电极引脚分别与检流计对应连接；电阻Ra两端并连有示波器；冲击系统包括冲击滑块（11）；冲击滑块（11）下方带有冲击杆（23）；MEMS惯性开关（17）设置在冲击滑块（11）上，冲击滑块（11）套设在导向柱（12）上，冲击滑块（11）上设有加速度传感器（19）；可动电极引脚连接第二直流电源的正极，驱动电极引脚连接第二直流电源的负极；冲击杆（23）下方设有波形发生器（16）。