[发明专利]基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 201710024581.6 | 申请日： | 2017-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN108303122A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 李铁;仝敬;王伊;张蕾;高安然;张东伟;宋海峰;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;北京正旦国际科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;C23C16/26 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器及其制备方法，所述制备方法包括：1)提供石墨烯及微加热器平台，并将所述石墨烯转移至所述微加热器平台上；2)将步骤1)所得到的结构置于化学气相沉积反应炉中退火；3)于退火后的所述石墨烯表面通过试剂进行修饰，形成具有活性基团的活性薄膜；4)于所述活性薄膜表面形成光受体蛋白。本发明通过采用悬膜式的加热结构连接石墨烯，并在石墨烯表面修饰光受体蛋白，一方面采用光受体蛋白实现波长选择性，提高光吸收率；另一方面采用悬膜式加热结构，减少衬底对石墨烯性能的影响，更可以通过加热电压来调节工作温度，从而调节光生载流子迁移率和浓度，以提高光探测器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 光受体 制备 退火 光探测器 活性薄膜 加热结构 微加热器 温度调节 蛋白 膜式 化学气相沉积 波长选择性 光生载流子 光探测器件 表面形成 表面修饰 光吸收率 活性基团 加热电压 反应炉 迁移率 衬底 修饰 | ||
【主权项】：
1.一种基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)提供石墨烯及微加热器平台，并将所述石墨烯转移至所述微加热器平台上；2)将步骤1)得到的的结构置于化学气相沉积反应炉中退火；3)使用试剂对退火后的所述石墨烯表面进行修饰，以在所述石墨烯表面形成具有活性基团的活性薄膜；4)于所述活性薄膜表面形成光受体蛋白，所述光受体蛋白与所述活性薄膜的活性基团结合形成共价键，以连接所述光受体蛋白与所述活性薄膜。
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