[发明专利]一种宽光谱柔性红外探测器阵列及其制作方法

摘要

本发明涉及一种宽光谱柔性红外探测器阵列，包括从下往上依次设置的柔性衬底层、支撑硅片层及敏感薄膜层；敏感薄膜层的上、下表面分别有一层金属薄膜作为上、下电极，上、下电极的重叠区域构成有效敏感单元；所述敏感薄膜层由柔性热释电聚合物构成；同时还公开了上述宽光谱柔性红外探测器阵列的制作方法。本发明结构可柔性变形，可根据需要调整其变形量，从而调整其可视范围，并且敏感薄膜具有很宽的光谱响应范围，探测光谱范围较大，因此基于本阵列的红外探测器具有更高质量、细节更丰富的成像效果。

主权项

1.一种宽光谱柔性红外探测器阵列的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将柔性热释电聚合物充分溶解形成溶液，溶液涂覆在抛光基板上并高温烘烤至溶剂完全挥发形成敏感薄膜，敏感薄膜剥离后形成敏感薄膜层；2)敏感薄膜层上、下表面采用磁控溅射方式沉积相同厚度的金属薄膜，形成上、下电极，上、下电极的重叠区域构成有效敏感单元；3)敏感薄膜层开设将下电极引致敏感薄膜层上表面的通孔，通孔内填充金属并图形化；4)选取与敏感薄膜层面积和形状相同的薄硅片，并在薄硅片上制备条形通孔；5)将敏感薄膜层胶接在薄硅片上，以有效敏感单元与条形通孔中心对应设置为准；6)采用各向异性腐蚀方式将薄硅片腐蚀形成分离的支撑柱结构，构成支撑硅片层；7)将支撑硅片层胶接在柔性衬底层上，完成制作。