[发明专利]一种多晶硅废气处理与余热利用装置及工艺在审
| 申请号： | 201710016760.5 | 申请日： | 2017-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN106731611A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 胡小东;姜希猛;崔明现;贾曦;张东 | 申请（专利权）人： | 乐山职业技术学院;乐山太阳能研究院;四川友新能拓科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/00;C01B33/107;F28B1/02;F28C3/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 614000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅废气处理与余热利用装置及工艺，废气处理与余热利用装置包括废气冷凝回收罐、废气淋洗塔A、废气淋洗塔B、碱液池和液封水槽，所述的废气冷凝回收罐串接在用于废气汇总的废气管中，废气管末端连接所述的废气淋洗塔A，废气淋洗塔A的底部设置在碱液池中，废气淋洗塔A通过连通管连接废气淋洗塔B，废气淋洗塔B的底部设置在碱液池中，废气淋洗塔B通过排气管连接设置在液封水槽的放空管；所述的碱液池还通过碱液管分别连接至废气淋洗塔A和废气淋洗塔B的底部，并在碱液管管路中设置有碱液泵；所述的废气淋洗塔A的反应区设置有余热利用机构。通过本发明，氯硅烷得到有效的回收利用，解决环境污染，降低能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 废气 处理 余热 利用 装置 工艺 | ||
【主权项】：
一种多晶硅废气处理与余热利用装置，其特征在于，包括废气冷凝回收罐、废气淋洗塔A、废气淋洗塔B、碱液池和液封水槽，所述的废气冷凝回收罐串接在用于废气汇总的废气管中，废气管末端连接所述的废气淋洗塔A，废气淋洗塔A的底部设置在碱液池中，废气淋洗塔A通过连通管连接废气淋洗塔B，废气淋洗塔B的底部设置在碱液池中，废气淋洗塔B通过排气管连接设置在液封水槽的放空管；所述的碱液池还通过碱液管分别连接至废气淋洗塔A和废气淋洗塔B的底部，并在碱液管管路中设置有碱液泵；所述的废气淋洗塔A的反应区设置有余热利用机构，所述的余热利用机构的一端设置有进水口，另外一端设置有出水口，进水口与流入冷水的水泵、水管连接。
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