[发明专利]一种传输装置、显影系统及显影方法

摘要

本发明提供一种传输装置、显影系统及显影方法，属于显示装置的制备技术领域，其可解决现有的基板显影受液不均导致显影不均，影响像素线宽均一性，导致漏光的问题。本发明的传输装置中包括第一倾斜传输部、第二倾斜传输部，这两个传输部的传输面相背或者相对，这样在基板的传输过程中，倾斜设置的传输部在传输基板的同时两次改变基板所在面相对于传输方向的角度，以在传输过程中完成对基板的作业。该传输装置用于显影系统时，基板在第一倾斜传输部倾斜，喷淋单元向待显影基板喷淋显影液进行显影，然后基板在第二倾斜传输部再次倾斜，进行显影，由于两个传输部的传输面相背或者相对，这样使基板整个表面受液均匀，进而达到线宽显像均一的目的。

主权项

一种传输装置，其特征在于，包括传输单元，所述传输单元包括多个传输部，所述传输部包括第一倾斜传输部和第二倾斜传输部，所述第一倾斜传输部和所述第二倾斜传输部用于传输基板，所述第一倾斜传输部的传输面同第二倾斜传输部的传输面相背，或者所述第一倾斜传输部的传输面同第二倾斜传输部的传输面相对。