[发明专利]一种传输装置、显影系统及显影方法

权利要求书

1.一种传输装置，其特征在于，包括传输单元，所述传输单元包括多个传输部，所述传输部包括第一倾斜传输部和第二倾斜传输部，

所述第一倾斜传输部和所述第二倾斜传输部用于传输基板，所述第一倾斜传输部的传输面同第二倾斜传输部的传输面相背，或者所述第一倾斜传输部的传输面同第二倾斜传输部的传输面相对。

2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，每个所述传输部均由多个滚轮构成，所述滚轮的轴心均位于同一平面上，所述平面为第一平面。

3.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，在第一倾斜传输部和第二倾斜传输部之间还包括第三传输部，用于使基板在平行于所述第一平面所在的面上传输。

4.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述第一倾斜传输部的多个滚轮为第一滚轮，在沿传输前进的方向上，所述多个第一滚轮的直径逐渐减小。

5.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述第二倾斜传输部的多个滚轮为第二滚轮，在沿传输前进的方向上，所述多个第二滚轮的直径逐渐增大。

6.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述第三传输部的多个滚轮为第三滚轮，在沿传输前进的方向上，所述多个第三滚轮的直径相同。

7.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，在沿传输前进的方向上，所述第一倾斜传输部的长度与所述第二倾斜传输部的长度相同。

8.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，在第一倾斜传输部远离所述第二倾斜传输部的一侧还设有第四缓冲传输部，用于使基板在平行于第二平面所在的面上传输；在第二倾斜传输部远离所述第一倾斜传输部的一侧还设有第五缓冲传输部，用于使基板在平行于第三平面所在的面上传输；其中，所述第二平面与第三平面均平行于所述第一平面。

9.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述第一倾斜传输部所在面与所述第一平面的夹角中的锐角为α，所述第二倾斜传输所在面与所述第一平面的夹角中的锐角为α。

10.根据权利要求9所述的传输装置，其特征在于，所述锐角α的范围为1-30°。

11.根据权利要求10所述的传输装置，其特征在于，所述锐角α的范围为4-6°。

12.一种显影系统，其特征在于，包括权利要求1-11任一项所述的传输装置，还包括设置在所述传输单元上方的喷淋单元，用于向待显影基板喷淋显影液。

13.根据权利要求12所述的显影系统，其特征在于，所述喷淋单元包括多个沿传输方向间隔设置的喷嘴。

14.一种采用权利要求12-13任一项所述的显影系统进行显影的方法，其特征在于，包括以下步骤：

将基板放置于传输装置上以使基板传输，同时开启喷淋单元以向基板喷淋显影液。