[发明专利]一种传输装置、显影系统及显影方法

说明书

技术领域

本发明属于显示装置的制备技术领域，具体涉及一种传输装置、显影系统及显影方法。

背景技术

在基板上制备薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)的过程中，需要经过涂胶、曝光、显影和刻蚀等工艺。其中，显影工艺主要用于去除曝光后的基板上的光刻胶，预先形成所需图形以便进行下一步的刻蚀工艺。

现有技术一般采用喷淋式的显影系统，该显影系统如图1所示，通常包括传输单元1以及设置在该传输单元1上方的喷淋单元3，在进行显影时，可以将曝光完成的基板10放置在该传输单元上1，传输单元1可以带动基板10沿预设方向移动，同时喷淋单元3向基板10表面喷淋显影液。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：为了使基板10上的显影液能尽快流掉，基板10所在的面与传输方向平行，而在与传输方向相垂直的面上，基板10一般倾斜一定角度，且在流水线上的该倾斜角θ一般是固定值，这样造成基板10下半边总比上半边受液多，导致显影不均，从而影响像素线宽均一性，导致漏光等品质异常；此外，基板10倾斜需要马达驱动来实现基板10一边的升降，这个过程耗时较长，影响产能。

发明内容

本发明针对现有的基板显影受液不均导致显影不均，影响像素线宽均一性，导致漏光的问题，提供一种传输装置、显影系统及显影方法。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是：

一种传输装置，包括传输单元，所述传输单元包括多个传输部，所述传输部包括第一倾斜传输部和第二倾斜传输部，

所述第一倾斜传输部和所述第二倾斜传输部用于传输基板，所述第一倾斜传输部的传输面同第二倾斜传输部的传输面相背，或者所述第一倾斜传输部的传输面同第二倾斜传输部的传输面相对。

优选的是，每个所述传输部均由多个滚轮构成，所述滚轮的轴心均位于同一平面上，所述平面为第一平面。

优选的是，在第一倾斜传输部和第二倾斜传输部之间还包括第三传输部，用于使基板在平行于所述第一平面所在的面上传输。

优选的是，所述第一倾斜传输部的多个滚轮为第一滚轮，在沿传输前进的方向上，所述多个第一滚轮的直径逐渐减小。

优选的是，所述第二倾斜传输部的多个滚轮为第二滚轮，在沿传输前进的方向上，所述多个第二滚轮的直径逐渐增大。

优选的是，所述第三显影部的多个滚轮为第三滚轮，在沿传输前进的方向上，所述多个第三滚轮的直径相同。

优选的是，在沿传输前进的方向上，所述第一倾斜传输部的长度与所述第二倾斜传输部的长度相同。

优选的是，在第一倾斜传输部远离所述第二倾斜传输部的一侧还设有第四缓冲传输部，用于使基板在平行于第二平面所在的面上传输；在第二倾斜传输部远离所述第一倾斜传输部的一侧还设有第五缓冲传输部，用于使基板在平行于第三平面所在的面上传输；其中，所述第二平面与第三平面均平行于所述第一平面。

优选的是，所述第一倾斜传输部所在面与所述第一平面的夹角中的锐角为α，所述第二倾斜传输所在面与所述第一平面的夹角中的锐角为α。

优选的是，所述锐角α的范围为1-30°。

优选的是，所述锐角α的范围为4-6°。

本发明还提供一种显影系统，包括上述的传输装置，还包括设置在所述传输单元上方的喷淋单元，用于向待显影基板喷淋显影液。

优选的是，所述喷淋单元包括多个沿传输方向间隔设置的喷嘴。

本发明还提供一种上述的显影系统进行显影的方法，包括以下步骤：

将基板放置于传输装置上以使基板传输，同时开启喷淋单元以向基板喷淋显影液。

本发明的传输装置中包括第一倾斜传输部、第二倾斜传输部，这两个传输部的传输面相背或者相对，这样在基板的传输过程中，倾斜设置的传输部在传输基板的同时两次改变基板所在面相对于传输方向的角度，以在传输过程中完成对基板的作业。该传输装置用于显影系统时，基板在第一倾斜传输部倾斜，喷淋单元向待显影基板喷淋显影液进行显影，然后基板在第二倾斜传输部再次倾斜，进行显影，由于两个传输部的传输面相背或者相对，这样使基板整个表面受液均匀，进而达到线宽显像均一的目的。

附图说明

图1为现有的喷淋式的显影系统的结构示意图；

图2、图3为本发明的实施例1的传输装置的结构示意图；

图4-8为本发明的实施例2的传输装置、实施例3的显影系统的结构示意图；