[发明专利]背面入射型受光元件及光模块

摘要

衬底(1)具有表面和与表面相对的背面。在衬底(1)的表面依次层叠有n型层(2)、倍增层(3)、p型电场控制层(4)、光吸收层(5)以及窗口层(6)。在窗口层(6)的一部分形成有p型区域(7)。阳极电极(8)形成于p型区域(7)之上，与p型区域(7)连接。阳极焊盘(9)以及阴极焊盘(10)形成于衬底(1)的背面。第1连接孔(11)以及第2连接孔(12)贯穿衬底(1)。第3连接孔(13)从窗口层(6)贯穿至n型层(2)。阴极焊盘(10)经由第1连接孔(11)与n型层(2)电连接。阳极焊盘(9)经由第2连接孔(12)以及第3连接孔(13)与阳极电极(8)电连接。在衬底(1)的背面具有受光区域(16)。

主权项

1.一种背面入射型受光元件，其特征在于，具备：衬底，其具有表面和与所述表面相对的背面；n型层、倍增层、p型电场控制层、光吸收层及窗口层，它们依次层叠于所述表面；P型区域，其形成于所述窗口层的一部分；阳极电极，其形成于所述p型区域之上，与所述p型区域连接；以及阳极焊盘以及阴极焊盘，它们形成于所述背面，第1连接孔以及第2连接孔贯穿所述衬底，第3连接孔从所述窗口层贯穿至所述n型层，所述阴极焊盘经由所述第1连接孔与所述n型层电连接，所述阳极焊盘经由所述第2连接孔以及所述第3连接孔与所述阳极电极电连接，在所述背面具有受光区域。