[发明专利]蒸镀掩模的制造方法及制造装置

摘要

本发明提供一种能够以与使用时相同的朝向或放置方向来制造具备有树脂框架层及金属薄膜层的混合型蒸镀掩模的蒸镀掩模的制造方法及制造装置。在规定的方向施加规定的张力的状态下，以使树脂薄膜层成为外侧的方式，将在形成有一个或多个开口的金属薄膜层的一侧的表面上配置的树脂薄膜层的蒸镀掩模材料熔接于金属框架，以基台来保持该金属框架，并以使与金属薄膜层成为相对向的方式将反射面等的锥形形成构件/材料配置于金属框架的内侧，从树脂薄膜层的上方照射激光以在树脂薄膜层形成贯通孔，并且使通过贯通孔的激光被锥形形成构件/材料反射，由此在贯通孔的周围形成锥形。

主权项

1.一种蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，包括：在规定的位置上形成有一个或多个开口的金属薄膜层的一侧的表面，形成配置有树脂薄膜层的蒸镀掩模材料的工序；相对于所述蒸镀掩模材料，在规定的方向施加规定的张力的状态下，将所述树脂薄膜层设为外侧，将所述金属薄膜层熔接于金属框架的工序；在与所述金属框架的内侧的所述金属薄膜层呈相对向的位置上，在所述树脂薄膜层所形成的贯通孔的周围，配置以在所述金属薄膜层的侧的尺寸变大的方式来形成锥形的锥形形成构件/材料的工序；在所述树脂薄膜层的上方配置用于形成所述贯通孔的激光加工用掩模的工序；及经由所述激光加工用掩模，在所述树脂薄膜层照射激光且在所述树脂薄膜层形成所述贯通孔的工序，通过将所述激光照射于所述树脂薄膜层而在所述树脂薄膜层形成所述贯通孔之后，使通过所述贯通孔的激光与所述锥形形成构件/材料产生反应，且通过所产生的物理现象而在所述贯通孔的周围形成锥形。