[发明专利]接合体的制造方法有效
申请号: | 201680083615.2 | 申请日: | 2016-12-13 |
公开(公告)号: | CN108883490B | 公开(公告)日: | 2021-04-27 |
发明(设计)人: | 镰仓菜穗;菅生悠树;本田哲士 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | B22F7/08 | 分类号: | B22F7/08;B23K20/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种接合体的制造方法,其具有:工序A,准备将两个被接合物借助具有烧结前层的加热接合用片(40)暂时粘接而成的层叠体(10);工序B,将层叠体从下述定义的第1温度以下升温至第2温度;和工序C,在工序B之后,将层叠体的温度保持在规定范围内;在工序B的至少一部分期间及工序C的至少一部分期间,对层叠体进行加压。第1温度为在进行烧结前层的热重量测定时上述烧结前层中所含的有机成分减少10重量%时的温度。 | ||
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【主权项】:
1.一种接合体的制造方法,其特征在于,其具有:工序A,准备将两个被接合物借助具有烧结前层的加热接合用片暂时粘接而成的层叠体;工序B,将所述层叠体从下述定义的第1温度以下升温至第2温度;和工序C,在所述工序B之后,将所述层叠体的温度保持在规定范围内,在所述工序B的至少一部分期间及所述工序C的至少一部分期间,对所述层叠体进行加压,第1温度:在进行所述烧结前层的热重量测定时所述烧结前层中所含的有机成分减少10重量%时的温度,当在大气下进行所述工序B及所述工序C时,所述热重量测定在大气下进行,当在氮气气氛下、还原气体气氛下或真空气氛下进行所述工序B及所述工序C时,所述热重量测定在氮气气氛下进行。
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