[发明专利]质量管理装置、质量管理方法及记录介质有效
| 申请号： | 201680081876.0 | 申请日： | 2016-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN109074051B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 上田宜史;今村诚;中村隆显;平井规郎 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 邓毅;龚晓娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 质量管理装置(20)具有：回归分析部(33)，其根据从前道工序取得的测定值及从后道工序取得的比较用测定值计算回归式；余量判定部(34)，其将规定该前道工序中的判定基准范围的判定基准值代入到该回归式的解释变量中计算预测值，将该预测值与后道工序中的比较用判定基准范围进行比较，判定测定值是否被容许；以及基准值计算部(35)，其根据该判定结果计算应替代判定基准值的新的判定基准值。 | ||
| 搜索关键词： | 质量管理 装置 方法 记录 介质 | ||
【主权项】：
1.一种质量管理装置，其特征在于，所述质量管理装置具有：测定值取得部，其从前道工序取得测定值的序列，并且从后道工序取得与所述测定值的序列对应的比较用测定值的序列，其中，所述前道工序是构成制造工艺的多个工序中的一个检查工序或者一个制造工序中的任意一个工序，所述后道工序是所述多个工序中比所述前道工序靠下游的另一检查工序；回归分析部，其执行使用所述测定值作为解释变量的值、使用所述比较用测定值作为目标变量的值的回归分析，由此计算回归式；余量判定部，其将规定判定基准范围的判定基准值代入到所述回归式的解释变量中来计算预测值，将该预测值与比较用判定基准范围进行比较，来判定所述测定值是否被容许，其中，所述判定基准范围用于在所述前道工序中判定质量，所述比较用判定基准范围用于在所述后道工序中判定质量；以及基准值计算部，其根据所述余量判定部的判定结果计算应替代所述判定基准值的新的判定基准值。
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