[发明专利]光伏设备和制造方法

摘要

公开PV吸收剂的表面清洁和钝化的方法，例如可用于太阳能电池的CdTe基材，以及通过这些方法制备的设备。在一些实施方案中，该方法包括阳极层离子源(ALIS)等离子体放电过程以清洁和氧化CdTe表面以在CdTe层和随后的背接触层之间产生薄氧化物层。

主权项

1.一种制造光伏设备的方法，该方法具有前接触层堆垛和半导体层堆垛，所述方法包括：通过将半导体堆垛的暴露表面暴露于电离气体的等离子体对其进行等离子体清洁；将所述半导体堆垛的暴露表面暴露于在另外的惰性气氛中含有约1%至约60%氧气的气氛，以在暴露表面上形成氧化物层；和在所述氧化物层上形成背接触层堆垛。