[发明专利]表面改性用光束均化器有效
申请号: | 201680080925.9 | 申请日: | 2016-11-14 |
公开(公告)号: | CN108778604B | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 刘泰俊;洪京喜;金泰信;黄承镇;申容旭 | 申请(专利权)人: | 学校法人韩东大学校 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00;B23K26/06;B23K26/064;B23K26/70;H01S3/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人: | 郭放;许伟群 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 根据本发明的表面改性用光束均化器包括:第一排列透镜,将从激光束照射单元照射的激光束分割成多个细光束,并包括确定上述激光束的形状的多个小透镜;第二排列透镜,使借助上述第一排列透镜来分割的多个细光束透射,并包括与上述第一排列透镜对应的多个小透镜;聚光透镜,使透射上述第二排列透镜的多个细光束聚光在对象的表面;等离子体发生防止部,设置于上述第一排列透镜与上述第二排列透镜之间,防止在上述细光束的焦点区域发生等离子体;损坏防止部,设置于上述聚光透镜与上述对象之间,防止上述聚光透镜被上述多个细光束照射上述对象的过程中所发生的能量损坏。 | ||
搜索关键词: | 表面 改性 用光 均化器 | ||
【主权项】:
1.一种表面改性用光束均化器,包括:第一排列透镜,将从激光束照射单元照射的激光束分割成多个细光束,并包括确定上述激光束的形状的多个小透镜;第二排列透镜,使借助上述第一排列透镜来分割的多个细光束透射,并包括与上述第一排列透镜对应的多个小透镜;聚光透镜,使透射上述第二排列透镜的多个细光束聚光在对象的表面;以及等离子体发生防止部,设置于上述第一排列透镜与上述第二排列透镜之间,防止在上述细光束的焦点区域发生等离子体。
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