[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201680074397.6 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN108431571B | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 枥木伟伸;石原卓也 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L27/02 | 分类号： | G01L27/02;G01L9/00;G01L9/12 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了能够更容易地实施发生了堆积所引起的压力传感器的传感器输出的校准，共振点测定部(122)根据使电源频率变化实施使用压力传感器的一定压力的测定而获得的结果，求出隔膜(112)的共振点；特性算出部(123)根据所测定的共振点算出测定共振点时的隔膜(112)的弹性模量；校正部(124)根据特性算出部(123)求出的弹性模量算出校正了传感器芯片(101)的传感器灵敏度后的校正传感器灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其根据受压部的位移所引起的容量变化而测定所述压力，该受压部承受来自测定对象的压力，其特征在于，具有：压力值输出部，其使用设定的传感器灵敏度将所述容量变化转换成压力值并输出；共振点测定部，其根据在使用所述压力传感器的一定压力的测定中使电源频率变化而获得的结果，求出所述受压部的共振点；特性算出部，其根据所述共振点测定部求出的共振点，求出所述受压部的厚度或弹性模量作为所述受压部的物理特性；以及校正部，其根据所述特性算出部求出的所述物理特性求出校正了所述压力传感器的传感器灵敏度后的校正传感器灵敏度，并用所求出的校正传感器灵敏度更新设定在所述压力值输出部的传感器灵敏度。
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