[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其根据受压部的位移所引起的容量变化而测定所述压力，该受压部承受来自测定对象的压力，其特征在于，具有：

压力值输出部，其使用设定的传感器灵敏度将所述容量变化转换成压力值并输出；

共振点测定部，其根据在使用所述压力传感器的一定压力的测定中使电源频率变化而获得的结果，求出所述受压部的共振点；

特性算出部，其根据所述共振点测定部求出的共振点，求出所述受压部的厚度或弹性模量作为所述受压部的物理特性；以及

校正部，其根据所述特性算出部求出的所述物理特性求出校正了所述压力传感器的传感器灵敏度后的校正传感器灵敏度，并用所求出的校正传感器灵敏度更新设定在所述压力值输出部的传感器灵敏度，

所述受压部的共振点为与所述电源频率的变化相应获得的所述压力传感器的输出值的变化超过规定阈值时的电源频率。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述特性算出部求出所述受压部的弹性模量作为所述物理特性。

3.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，具有：

检测部，其以上一次所述校正部求出校正灵敏度时的共振点为基准值，检测所述基准值与所述共振点测定部求出的共振点之差超过规定值的情况，

当所述检测部检测到所求出的共振点与所述基准值之差超过规定值时，所述特性算出部求出所述物理特性，所述校正部求出校正传感器灵敏度并用所求出的校正传感器灵敏度更新设定在所述压力值输出部的传感器灵敏度。

4.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，具有：

检测部，其以上一次所述校正部求出校正灵敏度时的共振点为基准值，检测所述基准值与所述共振点测定部求出的共振点之差超过规定值的情况，

当所述检测部检测到所求出的共振点与所述基准值之差超过规定值时，所述特性算出部求出所述物理特性，所述校正部求出校正传感器灵敏度并用所求出的校正传感器灵敏度更新设定在所述压力值输出部的传感器灵敏度。

5.根据权利要求1到4中任一项所述的压力传感器，其特征在于，具有：

警报输出部，其检测所述校正部所求出的校正传感器灵敏度超过设定的允许范围的情况并输出警报。