[发明专利]针对重复率相关性能变量的在线校准

摘要

公开了根据激光器以其被操作的重复率对激光器性能的在线校准。校准可以是周期性的，并且可以在非曝光时段期间的计划期间进行。可以使用各种标准来自动选择产生可靠的符合规范的性能的重复率。然后使重复率的可靠值可用于扫描仪以作为所允许的值，并且然后允许激光器/扫描仪系统使用那些允许的重复率。

主权项

1.一种系统，包括：激光器，能够以多个重复率运行；激光器控制单元，可操作地连接到所述激光器，用于控制所述激光器以其进行操作的重复率；测量单元，被布置为测量来自所述激光器的输出，用于以重复率测量所述激光器的至少一个操作参数；比较单元，可操作地连接到所述测量单元，用于提供所述操作参数的测量值是否在所述操作参数的值的预定范围内的指示；以及存储单元，可操作地连接到所述比较单元，用于存储基于所述指示并且与所述重复率相关联的值；所述激光器控制单元可操作地连接到所述存储单元，并且被配置为仅当与第一重复率相关联地存储的所述值指示所述操作参数被测量为处于所述预定范围内时，才允许所述激光器以所述重复率来操作。