[发明专利]针对重复率相关性能变量的在线校准

权利要求书

1.一种照射系统，包括：

激光器，能够以多个重复率运行；

激光器控制单元，可操作地连接到所述激光器，用于控制所述激光器以其进行操作的重复率；

测量单元，被布置为测量来自所述激光器的输出，用于以重复率测量所述激光器的至少一个操作参数；

比较单元，可操作地连接到所述测量单元，用于提供所述操作参数的测量值是否在所述操作参数的值的预定范围内的指示；以及

存储单元，可操作地连接到所述比较单元，用于存储基于所述指示并且与所述重复率相关联的值；

所述激光器控制单元可操作地连接到所述存储单元，并且被配置为仅当与所述重复率相关联地存储的所述值指示所述操作参数被测量为处于所述预定范围内时，才允许所述激光器以所述重复率来操作。

2.根据权利要求1所述的照射系统，其中所述至少一个操作参数是能量稳定性。

3.根据权利要求1所述的照射系统，其中所述至少一个操作参数是带宽稳定性。

4.根据权利要求1所述的照射系统，其中所述至少一个操作参数是波长稳定性。

5.根据权利要求1所述的照射系统，其中所述至少一个操作参数是射束形状稳定性。

6.根据权利要求1所述的照射系统，其中所述至少一个操作参数是致动器输出。

7.一种照射系统，包括：

激光器，能够以多个重复率运行；

激光器控制单元，可操作地连接到所述激光器，用于驱动所述激光器以多个重复率来顺序地操作；

测量单元，被布置为测量来自所述激光器的输出，用于针对所述多个重复率中的每个重复率测量所述激光器的至少一个操作参数；

比较单元，可操作地连接至所述测量单元，用于针对所述多个重复率中的每个重复率提供所述操作参数的测量值是否在值的预定范围内的指示；以及

存储单元，可操作地连接到所述比较单元，用于针对所述多个重复率中的每个重复率存储基于所述指示的第一值以及指示以其获得所述值的所述重复率的第二值；并且

所述激光器控制单元可操作地连接到所述存储单元，并且被配置为仅当所选择的重复率是所述多个重复率中的、与所述重复率相关联地存储的值针对其指示所述操作参数被测量为在所述预定范围内的重复率时，才允许所述激光器以所选择的重复率来操作。

8.根据权利要求7所述的照射系统，其中所述至少一个操作参数是能量稳定性。

9.根据权利要求7所述的照射系统，其中所述至少一个操作参数是带宽稳定性。

10.根据权利要求7所述的照射系统，其中所述至少一个操作参数是波长稳定性。

11.根据权利要求7所述的照射系统，其中所述至少一个操作参数是射束形状稳定性。

12.根据权利要求7所述的照射系统，其中所述至少一个操作参数是致动器输出。

13.根据权利要求7所述的照射系统，其中可操作地连接到所述激光器以用于驱动所述激光器以多个重复率顺序地操作的所述激光器控制单元被配置为：使所述激光器通过一系列重复率步进。

14.根据权利要求13所述的照射系统，其中可操作地连接至所述激光器以用于驱动所述激光器以多个重复率顺序地操作的所述激光器控制单元被配置为：使所述激光器通过一系列重复率步进，其中重复率在步进之间的差保持基本恒定。

15.根据权利要求13所述的照射系统，其中可操作地连接到所述激光器以用于驱动所述激光器以多个重复率顺序地操作的所述激光器控制单元被配置为：使所述激光器通过一系列重复率步进，其中重复率在步进之间的差随着重复率而增加。