[发明专利]针对重复率相关性能变量的在线校准

说明书

公开了根据激光器以其被操作的重复率对激光器性能的在线校准。校准可以是周期性的，并且可以在非曝光时段期间的计划期间进行。可以使用各种标准来自动选择产生可靠的符合规范的性能的重复率。然后使重复率的可靠值可用于扫描仪以作为所允许的值，并且然后允许激光器/扫描仪系统使用那些允许的重复率。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2015年12月21日提交的标题为“针对重复率相关性能变量的在线校准(ONLINE CALIBRATION FOR REPETITION RATE DEPENDENT PERFORMANCE VARIABLE)”的美国实用专利申请No.14/976,829的权益，其全部内容通过引用并入本文。

技术领域

本公开涉及激光源的在线校准，该激光源产生电磁光谱的深紫外(“DUV”)部分的辐射。

背景技术

用于半导体光刻的激光辐射通常被供应为指定重复率的一系列脉冲。为了实现工艺的均一性，期望激光器能够满足一组性能规范，例如，在所有预期的操作条件下的带宽、波长和能量稳定性。这些激光器性能参数可能会受到激光器以其运行的重复率的影响。因此，不能假定激光器会在所能够操作的所有重复率下满足性能规范。但是，可能期望选择以不同重复率来进行操作。例如，改变激光器的输出功率的常用方法是减小重复率，而不是减少每个脉冲的输出能量。

通过以固定的重复率(例如，6kHz)操作激光器，可以利用重复率对性能的未知变化进行工程设计。然而，这具有缺点，即，如果期望使用较低的有效重复率，则与激光源相关联的扫描仪必须阻止或以其他方式衰减脉冲，因为源自激光器的实际脉冲数将保持相同。这意味着与如果在希望时可以降低实际激光重复率的情况下所需的激光脉冲相比，更多激光脉冲用于晶片生产。

因此，需要能够提供一种激光源，该激光源可以以多个可用重复率中的任何一个来操作，而不用担心激光源可能未在可接受的性能规范内操作。

发明内容

以下给出一个或多个实施例的简要发明内容，来提供对实施例的基本理解。该发明内容不是对所有预期实施例的广泛概述，并且不旨在标识所有实施例的关键或重要要素，也不旨在描绘任何或所有实施例的范围。其唯一目的是以简化形式提供一个或多个实施例的一些概念，作为稍后呈现的更详细描述的序言。

根据一个方面，公开了一种系统，包括：能够以多个重复率运行的激光器；可操作地连接到激光器的激光器控制单元，用于控制激光器以其进行操作的重复率；测量单元，被布置为测量来自激光器的输出，用于以重复率测量激光器的至少一个操作参数；可操作地连接到测量单元的比较单元，用于提供操作参数的测量值是否在操作参数的值的预定范围内的指示；以及可操作地连接到比较单元的存储单元，用于存储基于该指示并且与重复率相关联的值。激光器控制单元可操作地连接到存储单元并且被配置为仅当与第一重复率相关联地存储的值指示操作参数被测量为处于预定范围内时，才允许激光器以重复率来操作。操作参数可以是能量稳定性、带宽稳定性、波长稳定性、射束形状稳定性、致动器状态或这些中的一些或全部的一些组合。