[发明专利]荷电粒子线装置及扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 201680070516.0 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108292580B | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 熊本和哉;松田定好 | 申请（专利权）人： | 松定精度株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/10;H01J37/22;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 南霆;王宁 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种荷电粒子线装置，具有：荷电粒子源，射出荷电粒子线(12)；加速电源，加速从所述荷电粒子源射出的荷电粒子线(12)，并连接于所述荷电粒子源；物镜透镜(26)，将所述荷电粒子线(12)聚焦于试料(23)；及第二检测器(11)。第二物镜透镜(26)为设置于相对试料(23)入射荷电粒子线(12)的侧的相反侧。第二检测器(110)，其为使伴随着所述荷电粒子线(12)入射而从所述试料(23)射出的电磁波以及在所述试料(23)反射的电磁波中至少其中之一入射。第二检测器(110)并检测入射的电磁波。 | ||
| 搜索关键词： | 荷电粒子 入射 试料 第二检测器 荷电粒子源 电磁波 物镜透镜 线装置 射出 扫描电子显微镜 加速电源 粒子线 相反侧 反射 聚焦 检测 | ||
【主权项】：
1.一种荷电粒子线装置，其特征在于，具有：荷电粒子源，射出荷电粒子线；加速电源，加速从所述荷电粒子源射出的荷电粒子线，并连接于所述荷电粒子源；物镜透镜，将所述荷电粒子线聚焦于试料；第二检测器，其为使伴随着所述荷电粒子线入射而从所述试料射出的电磁波以及在所述试料反射的电磁波中至少其中之一入射，并检测入射的电磁波；其中，相对于所述试料，所述物镜透镜为设置于所述荷电粒子线的入射侧的相反侧；以及所述第二检测器，相对于所述试料，设置于所述荷电粒子线入射的侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松定精度株式会社，未经松定精度株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680070516.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
