[发明专利]载置于在装载端口设置的载置台上的适配器、及装载端口在审

专利信息
申请号: 201680069802.5 申请日: 2016-11-29
公开(公告)号: CN108292622A 公开(公告)日: 2018-07-17
发明(设计)人: 森鼻俊光;松本祐贵 申请(专利权)人: 昕芙旎雅有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;张会华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 适配器(20)所具备的匣尺寸检测传感器(41、42)具有用于在水平方向上照射检测波的作为辨别传感器照射部的发光部(41a、42a)和用于检测从该辨别传感器照射部照射来的检测波的作为辨别传感器检测部的受光部(41b、42b),通过从所述辨别传感器照射部朝向匣(51、52)的侧面照射检测波来辨别匣(51、52)的尺寸。
搜索关键词: 辨别传感器 照射部 照射检测 装载端口 适配器 尺寸检测传感器 发光部 检测波 受光部 检测 载置 照射 辨别 侧面
【主权项】:
1.一种适配器,其载置于在装载端口设置的载置台上,能够载置分别适合被处理物的尺寸的、用于收纳所述被处理物的多个尺寸的容器,该适配器的特征在于,该适配器包括:容器定位部,其设于供所述容器载置的载置板的上表面;以及多个容器辨别传感器,其用于辨别所述容器的尺寸,所述容器辨别传感器具有用于在水平方向上照射检测波的辨别传感器照射部和用于检测从该辨别传感器照射部照射来的检测波的辨别传感器检测部,从所述辨别传感器照射部朝向所述容器的侧面照射检测波。
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