[发明专利]超声换能器阵列、探头和系统有效
| 申请号： | 201680063958.2 | 申请日： | 2016-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN108348217B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | H-P·勒布尔;A·W·格伦兰德 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦有限公司 |
| 主分类号： | A61B8/00 | 分类号： | A61B8/00;B06B1/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超声换能器阵列，包括多个CMUT(电容式微加工超声换能器)单元(100)，每一CMUT单元包括承载第一电极布置结构的第一电极(110)的衬底(300)，该衬底与包括第二电极布置结构的第二电极(120)的柔性膜片在空间上间隔开一间隙(130)，所述第一电极和所述第二电极中的至少一个通过至少一个电介质层(311、313)与所述间隙电绝缘，其中所述第一电极布置结构和所述第二电极布置结构中的至少一个被分割成通过各自的熔丝部分(112、122)互连的多个区段。本发明还公开包括此类超声换能器阵列的一种超声探头和一种超声系统。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 换能器 阵列 探头 系统 | ||
【主权项】：
1.一种超声换能器阵列，包括：多个CMUT(电容式微加工超声换能器)单元(100)，每一CMUT单元包括承载第一电极布置结构的第一电极(110)的衬底(300)，其中所述衬底的至少一部分与包括第二电极布置结构的第二电极(120)的柔性膜片在空间上间隔开一间隙(130)，且所述第一电极和所述第二电极中的至少一个通过至少一个电介质层(311、313)与所述间隙电绝缘，其中所述第一电极布置结构和所述第二电极布置结构中的至少一个被分割成通过各自的熔丝部分(112、122)互连的多个区段，其中：所述第一电极布置结构包括多行第一电极(110)，每一行中的所述第一电极通过各自的熔丝部分(112)互连；且所述第二电极布置结构包括多列第二电极(120)，每一列中的所述第二电极通过各自的熔丝部分(122)互连，其中每一行和每一列都是可单独寻址的。
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