[发明专利]超声换能器阵列、探头和系统

权利要求书

1.一种超声换能器阵列，包括：

多个CMUT(电容式微加工超声换能器)单元(100)，每一CMUT单元包括承载第一电极布置结构的第一电极(110)的衬底(300)，其中所述衬底的至少一部分与包括第二电极布置结构的第二电极(120)的柔性膜片在空间上间隔开一间隙(130)，且所述第一电极和所述第二电极中的至少一个通过至少一个电介质层(311、313)与所述间隙电绝缘，其中所述第一电极布置结构和所述第二电极布置结构中的至少一个被分割成通过各自的熔丝部分(112、122)互连的多个区段，其中：

所述第一电极布置结构包括多行第一电极(110)，每一行中的所述第一电极通过各自的熔丝部分(112)互连；且

所述第二电极布置结构包括多列第二电极(120)，每一列中的所述第二电极通过各自的熔丝部分(122)互连，其中每一行和每一列都是可单独寻址的。

2.根据权利要求1所述的超声换能器阵列，其中，每一熔丝部分(112、122)具有不超过1Ω/_□(欧姆每平方)的薄层电阻。

3.根据权利要求1或2所述的超声换能器阵列，其中，所述至少一个电介质层包括在所述间隙(130)和所述第一电极(110)之间的第一电介质层(311)以及在所述间隙和所述第二电极(120)之间的第二电介质层(142、313)。

4.根据权利要求1或2所述的超声换能器阵列，其中，每一熔丝部分(112、122)是带状的。

5.根据权利要求1或2所述的超声换能器阵列，其中，每一熔丝部分(112、122)是蝴蝶结状的。

6.一种超声探头(50)，包括根据权利要求1至5中的任一项所述的超声换能器阵列。

7.一种超声系统(1)，包括根据权利要求1至5中的任一项所述的超声换能器阵列或根据权利要求6所述的超声探头(50)，所述超声系统进一步包括导电性地联接到所述第一电极布置结构和所述第二电极布置结构的电源。

8.根据权利要求7所述的超声系统(1)，其中，所述超声系统是超声诊断成像系统或超声治疗系统。