[发明专利]具有固定的内部区域的微机电麦克风有效
| 申请号： | 201680058133.1 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN108141678B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 勒娜特·梅拉穆德·伯杰;S·巴拉坦;托马斯·陈 | 申请（专利权）人： | 应美盛公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R7/24;H04R19/04;H04R31/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;杨明钊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 微机电麦克风具有固定区域或另一类型的机械支撑的区域，其可以减轻或避免微机电麦克风中的机械不稳定性。固定区域可以通过经由刚性电介质构件将膜片的内部部分刚性地附接到微机电麦克风的背板而形成在微机电麦克风的膜片中。刚性电介质构件可以在背板和膜片之间延伸。在某些实施方案中，电介质构件可以是中空的，形成中心对称或具有另一种对称类型的外壳。在其它实施方案中，电介质构件可以界定芯‑壳结构，其中第一电介质材料的外部外壳界定用第二电介质材料填充的内部开口。多个电介质构件可以将膜片刚性地附接到背板。延伸的电介质构件可以将非平面膜片刚性地附接到背板。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 固定 内部 区域 微机 麦克风 | ||
【主权项】：
一种微机电麦克风，包括：固定板，其界定多个开口；和活动板，其界定外部部分和大体上以所述活动板的几何中心为中心的内部开口，所述活动板经由从所述固定板的表面延伸到所述活动板的表面的中空的电介质构件在所述内部开口附近刚性地附接至所述固定板，其中包含所述活动板与所述中空的电介质构件之间的界面的区域在声学上是非活动性的。
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