[发明专利]压电元件以及其制造方法、压电驱动器在审
| 申请号： | 201680053346.5 | 申请日： | 2016-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN108028310A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 秋山典之;中村明 | 申请（专利权）人： | 三美电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;B81B3/00;B81C1/00;G02B26/08;G02B26/10;H01L41/047;H01L41/053;H01L41/23;H01L41/29;H01L41/332;G02B27/48 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本压电元件具有基板、形成于上述基板上的下部电极、形成于上述下部电极上的压电膜以及形成于上述压电膜上的上部电极，上述上部电极形成在实施了平坦化处理的面。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 及其 制造 方法 驱动器 | ||
【主权项】：
1.一种压电元件，其特征在于，具有：基板；形成于上述基板上的下部电极；形成于上述下部电极上的压电膜；以及形成于上述压电膜上的上部电极，上述上部电极形成在实施了平坦化处理的面。
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