[发明专利]在传输中自动晶圆定中方法及设备有效
| 申请号： | 201680053111.6 | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN108027718B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | B.殷;J.T.穆拉;V.曾;A.高利克;N.斯派克 | 申请（专利权）人： | 博鲁可斯自动化美国有限责任公司 |
| 主分类号： | G06F7/00 | 分类号： | G06F7/00;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张小文;傅永霄 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种基底处理设备，基底处理设备包括：具有传输臂的晶圆传输设备，传输臂包括端部执行器；臂姿态确定性特征，臂姿态确定性特征与基底传输设备构成整体并且被设置为使得基底处理设备的静态检测传感器在传输臂径向运动的情况下在传输中检测至少一个臂姿态确定性特征的至少一个边缘；以及控制器，控制器被配置为使得对边缘的检测实现对比例因子的确定，比例因子在传输中识别传输臂的至少热膨胀变化，并且包括运动效应解析器，运动效应解析器被配置为从在传输中对边缘的检测来确定所确定的比例因子和与传输臂的每个不同连杆相应的每个不同离散变化之间的离散关系，从而在传输中确定传输臂的至少热膨胀变化。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 自动 晶圆定中 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种基底处理设备，所述基底处理设备包括：基底传输设备，所述基底传输设备具有包括端部执行器的传输臂，所述端部执行器具有带有预定中心的参考特征，所述端部执行器被配置为基于所述预定中心保持晶圆并且在所述基底处理设备内传输所述晶圆；至少一个臂姿态确定性特征，所述至少一个臂姿态确定性特征与所述基底传输设备构成整体并且被设置为使得所述基底处理设备的静态检测传感器在所述传输臂径向运动的情况下在传输中检测所述至少一个臂姿态确定性特征的至少一个边缘；以及控制器，所述控制器可通信地联接至所述基底传输设备，所述控制器被配置为使得对所述至少一个边缘的检测实现对比例因子的确定，所述比例因子在所述传输臂径向运动的情况下在传输中识别所述传输臂的变化；其中，所述控制器包括运动效应解析器，所述运动效应解析器被配置为在所述传输臂径向运动的情况下在传输中通过所述静态检测传感器从对所述至少一个边缘的检测来确定所确定的比例因子和与所述传输臂的每个不同连杆相应的每个不同离散变化之间的离散关系，从而在所述传输臂径向运动的情况下在传输中确定所述传输臂的变化。
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