[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明涉及一种用于处理基板的基板处理装置，具有板状的基板托架和平行于所述基板托架布置的至少一个板状的回火装置，其中，该基板托架具有用于承载至少一个平面基板的基板托架正面和面向该回火装置的基板托架背面。因此，本发明的目的是提出一种基板处理装置，其能够实现基板托架中的尽可能均匀的热分布。该目的根据本发明通过以下方式解决：在基板托架背面和/或回火装置面向该基板托架的表面上设置至少一个间隔元件，以在该基板托架和该回火装置之间形成距离。

主权项

1.用于处理基板的基板处理装置，所述基板处理装置具有板状的基板托架(1)和平行于所述基板托架(1)布置的至少一个板状的回火装置(2)，其中，所述基板托架(1)具有用于承载至少一个平面基板(4)的基板托架正面(3)和面向所述回火装置(2)的基板托架背面(5)，其特征在于，在所述基板托架背面(5)处和/或所述回火装置(2)面向所述基板托架(1)的表面上设置至少一个间隔元件(6、6')，用于在所述基板托架(1)与所述回火装置(2)之间形成距离(C)。