[发明专利]蒸镀源和蒸镀装置以及蒸镀膜制造方法在审
| 申请号： | 201680046218.8 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN107849686A | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 井上智;菊池克浩;川户伸一;二星学;小林勇毅 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/14 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人： | 龙淳,池兵 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 蒸镀源(10)中的蒸镀颗粒射出单元(30)包括各自具有至少1个蒸镀喷嘴(32、52)且在垂直方向上彼此隔开间隔地叠层的多段的喷嘴单元；和设置在各段的蒸镀喷嘴之间的至少1个空间部(43)，该空间部的四周被侧壁(44)包围，该侧壁(44)设置有至少1个将该空间部和真空腔室内空间(2a)连接的开口部(45)。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀源 装置 以及 镀膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀源，其特征在于，包括：对蒸镀材料进行加热而产生气态的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒产生部；和将由所述蒸镀颗粒产生部产生的蒸镀颗粒射出的蒸镀颗粒射出部，至少所述蒸镀颗粒射出部配置在真空腔室内，并且，所述蒸镀颗粒射出部包括：各自具有至少1个蒸镀喷嘴且在垂直方向上彼此隔开间隔地叠层的多段的蒸镀喷嘴部；和设置在所述多段的蒸镀喷嘴部中的各段的蒸镀喷嘴之间的至少1个空间部，所述空间部的四周被外壁包围，该外壁设置有至少1个将所述空间部和所述真空腔室内的空间连接的开口部。
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