[发明专利]通过多频率运行进行多次分析处理的转速传感器及其方法有效
申请号: | 201680042101.2 | 申请日: | 2016-05-24 |
公开(公告)号: | CN107850431B | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | B·库尔曼;T·巴尔斯林科 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | G01C19/5726 | 分类号: | G01C19/5726;G01C19/574 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种转速传感器,具有带有主延伸平面的衬底、至少一个相对于所述衬底能运动的第一结构、至少一个相对于所述衬底并且相对于所述第一结构能运动的第二结构、至少一个相对于所述衬底并且相对于所述第一结构并且相对于第二结构能运动的第三结和至少一个相对于所述衬底并且相对于所述第一结构并且相对于所述第二结构并且相对于所述第三结构能运动的第四结构,其特征在于,所述转速传感器如此包括驱动装置用于使所述第一结构从所述第一结构的静止位置中基本上平行于驱动方向地偏移并且用于使所述第二结构从所述第二结构的静止位置中基本上平行于所述驱动方向地偏移并且用于使所述第三结构从所述第三结构的静止位置中基本上平行于所述驱动方向地偏移并且用于使所述第四结构从所述第四结构的静止位置中基本上平行于所述驱动方向地偏移,使得所述第一结构和所述第四结构能够在第一频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于所述第二结构和所述第三结构基本上反相地振动,其中,所述第一结构和所述第二结构能够在第二频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于所述第三结构和所述第四结构基本上反相地振动。 | ||
搜索关键词: | 通过 频率 运行 进行 多次 分析 处理 转速 传感器 及其 方法 | ||
【主权项】:
转速传感器(1),具有带有主延伸平面(100)的衬底(3)、至少一个相对于所述衬底(3)能运动的第一结构(5)、至少一个相对于所述衬底(3)并且相对于所述第一结构(5)能运动的第二结构(7)、至少一个相对于所述衬底(3)并且相对于所述第一结构(5)并且相对于第二结构(7)能运动的第三结构(9)和至少一个相对于所述衬底(3)并且相对于所述第一结构(5)并且相对于所述第二结构(7)并且相对于所述第三结构(9)能运动的第四结构(11),其特征在于,所述转速传感器(1)如此包括驱动装置用于使所述第一结构(5)从所述第一结构(5)的静止位置中基本上平行于驱动方向(15)地偏移并且用于使所述第二结构(7)从所述第二结构(7)的静止位置中基本上平行于所述驱动方向(15)地偏移并且用于使所述第三结构(9)从所述第三结构(9)的静止位置中基本上平行于所述驱动方向(15)地偏移并且用于使所述第四结构(11)从所述第四结构(11)的静止位置中基本上平行于所述驱动方向(15)地偏移,使得所述第一结构(5)和所述第四结构(11)能够在第一频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于所述第二结构(7)和所述第三结构(9)基本上反相地振动,其中,所述第一结构(5)和所述第二结构(7)能够在第二频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于所述第三结构(9)和所述第四结构(11)基本上反相地振动。
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