[发明专利]用于测量目标对象的形状的测量装置、系统和制造方法

摘要

测量装置包括投影光学系统；照明单元；成像单元，被配置为对由所述投影光学系统投影了图案光的目标进行成像，从而通过由所述目标反射的图案光捕获所述目标的第一图像；以及处理单元，被配置为获得关于目标的形状的信息。照明单元包括相对于光轴对称地布置在投影光学系统的光轴周围的光发射器。处理单元通过使用目标的第二图像来校正第一图像，并且基于校正的图像来获得形状信息，其中，成像单元对由光发射器照明的目标对象进行成像，以通过从光发射器发射并由目标对象反射的光捕获第二图像。

主权项

一种用于测量目标对象的形状的测量装置，包括：投影光学系统，被配置为将图案光投影到目标对象上；照明单元，被配置为照明目标对象；成像单元，被配置为对已经通过所述投影光学系统投影了图案光的目标对象进行成像，从而通过由所述目标对象反射的图案光来捕获所述目标对象的第一图像；以及处理单元，被配置为获得关于所述目标对象的形状的信息，其中，所述照明单元包括相对于所述投影光学系统的光轴对称地布置在所述投影光学系统的光轴周围的多个光发射器，其中，所述成像单元对由所述多个光发射器照明的目标对象进行成像，以通过从所述多个光发射器发射并且由所述目标对象反射的光来捕获第二图像，其中，所述处理单元通过使用所述目标对象的第二图像来校正所述第一图像，并且基于校正的图像获得关于目标对象的形状的信息。