[发明专利]具有稀释过氧化氢(DHP)气体的洁净室及其使用方法在审
| 申请号： | 201680031338.0 | 申请日： | 2016-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN107921163A | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | J.D.李;D.J.博斯马 | 申请（专利权）人： | 塞尼斯有限责任公司 |
| 主分类号： | A61L2/20 | 分类号： | A61L2/20;B01L1/04;F24F3/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 温宏艳,周齐宏 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种改进的洁净室，具有提供防腐条件的稀释过氧化氢(DHP)气体。还提供了具有降低水平的挥发性有机化合物(VOC)的含有DHP气体的洁净室、和制造具有DHP气体的洁净室的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 稀释 过氧化氢 dhp 气体 洁净室 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
洁净室，包括浓度为至少0.05百万份(ppm)的稀释过氧化氢(DHP)气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于塞尼斯有限责任公司，未经塞尼斯有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680031338.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
