[发明专利]与成像装置中失真校正相关的方法、系统和装置有效
| 申请号： | 201680023239.8 | 申请日： | 2016-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN107533017B | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 克里斯多夫·帕夫洛维奇;亚历山大·索金;弗拉迪米尔·马丁塞维奇 | 申请（专利权）人： | 泰科英赛科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00;G01N21/84;G01R33/565 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了与失真校正成像相关的装置、系统和方法，该失真校正成像旨在采集衬底的图像相关数据，所述装置、系统和方法包括：一光束发射器，用于将发射指向衬底上预期位置处，以及一信号检测器，用来确定与所述发射相关联的信号强度值；其中所述信号强度值与校正后的衬底位置相关联，所述校正后的衬底位置是从所述预期衬底位置和校正因子中确定的，所述校正因子是所述预期衬底位置的一个函数。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 装置 失真 校正 相关 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于对衬底进行成像的成像装置，其特征在于，所述装置包含：一光束发射器，用于将发射导向引导衬底，以便在衬底预期位置处产生代表衬底的可检测信号；和一信号检测器，用于检测所述可检测信号的成像特征；其中所述成像装置自动地将所述成像特征与校正的衬底位置相关联，以用于生成失真校正图像，其中所述校正的衬底位置是从所述预期位置和校正因子确定的，其中所述校正因子是所述预期位置的一个函数。
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