[发明专利]与成像装置中失真校正相关的方法、系统和装置

权利要求书

1.一种用于对衬底中至少一层的至少一部分进行成像的成像装置，其特征在于，所述装置包含：

一光束发射器，用于将发射导向引导衬底，以便在衬底的多个预期位置处产生代表衬底的所述部分的可检测信号；和

一信号检测器，用于检测每个所述预期位置的所述可检测信号的成像特征；

一个或多个激励器，用于改变所述发射相对于所述衬底的位置，以在所述衬底的每个所述预期位置处检测所述成像特征；

其中所述成像装置于每个所述预期位置处自动地将所述成像特征与预设图像分辨率和校正衬底位置相关联，以用于生成失真校正图像，其中所述校正衬底位置是从所述预期位置和校正因子确定的，其中所述校正因子是所述预期位置和所述预设图像分辨率的一个函数，所述预设图像分辨率对应于所述预期位置；

其中所述成像装置被配置成对准多个所述失真校正图像以形成衬底中至少一层的所述部分的马赛克图像，所述失真校正图像包括至少两个不同的图像分辨率。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述成像特征包括所述可检测信号的强度。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述校正因子对于所述成像装置的至少一个操作特征是预先确定的。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其特征在于，所述激励器为光束激励器，用来改变相对于所述衬底位置的所述发射方向，以在一个或多个不同的预期位置处检测所述成像特征。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其特征在于，所述激励器为装置激励器，用来改变所述信号检测器的位置从而改变所述信号检测器和所述衬底的相对位置，以检测一个或多个不同预期位置的所述成像特征。

6.根据权利要求1至3中任意一项所述的装置，其特征在于，所述激励器为衬底激励器，用来改变所述衬底的位置使所述衬底保持相对应所述光束发射器和所述信号检测器。

7.根据权利要求1至3任一项所述的装置，其特征在于，所述信号检测器为多个不同的对应的预期位置中的每一个确定相对应的特征，并且其中所述成像装置自动将每个所述相对应的特征 与相应的校正衬底位置关联，以用来生成所述失真校正图像。

8.根据权利要求1至3任一项所述的装置，其特征在于，其中与给定的预期位置所对应的给定图像像素位置的给定图像像素值是以所述成像特征的相应比例为基础，所述成像特征的相应比例与至少一个或多个所述校正衬底位置中的任一个相关联，而所述校正衬底位置至少部分重叠所述给定图像像素位置。

9.根据权利要求1至3任一项所述的装置，其特征在于，所述装置是选自以下组别：光学成像装置，FIB，SEM，TEM，X射线装置，MRI，离子束装置，CT扫描和CAT扫描。

10.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，其中至少一个操作特征包含所述装置的一个当前成像分辨率。

11.一种在成像装置中校正图像失真的方法，该成像装置包含一光束发射器，用来将发射指向衬底，以在预期位置处生成表示所述衬底的可检测信号，以及一信号检测器，该信号检测器用于确定代表所述可检测信号的成像特征，该方法包括：

使所述发射照射到所述衬底上；

测量与所述预期位置相关联的可检测信号的成像特征和与位置相关的图像分辨率；

确定与用于生成失真校正图像的成像特征相关联的校正衬底位置，从所述预期位置和指定校正因子确定所述校正衬底位置，该指定校正因子被预定为所述预期位置的函数，所述失真校正图像具有与所述校正衬底位置相关联的图像分辨率；

将测量得到的所述可检测信号的所述成像特征与所述校正衬底位置相关联；

为至少一个其他预期位置重复所述测量、确定和关联步骤；以及

将多个所述失真校正图像对齐以形成衬底中至少一层的部分的马赛克图像，所述失真校正图像包括至少两个不同的图像分辨率。